统微系统(Microsystem)是指通过集成微电子技术、微机械技术,以及光学、化学、生物等领域的微元件,构建的具有信息获取、处理与执行功能的微型化系统。这类系统通过批量化的微电子制造技术和三维加工技术实现高度集成化与微型化,典型应用包括集成电路、微光机电生化系统等。
核心特点:
多学科集成:
结合微电子、微机械、微光学、化学、生物等多领域微元件
制造技术:
基于微电子制造工艺,结合三维加工技术实现复杂结构集成
功能完整性:
形成可独立完成信息处理与执行任务的完整系统
典型应用示例:
集成电路:如手机芯片、电脑主板等
微光机电系统:如微型传感器、光束调节装置等
生物微系统:如生物传感器、药物递送系统等
统微系统的发展推动了现代信息处理与存储系统的高度集成化与微型化,是当前信息技术领域的重要研究方向。
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